S6 · UHP 316L لأشباه الموصلات
الفولاذ المقاوم للصدأ UHP 316L لأشباه الموصلات (قائمة الوسائط والحدود لـ 316L/304L)
اسرد الوسائط والدرجات وظروف الحدود المتعلقة بالفولاذ المقاوم للصدأ UHP 316L لأشباه الموصلات: 4 مكونات/ظروف نموذجية، بما في ذلك الدرجات الموصى بها والمواصفات وأسباب الفشل والمعايير.
أربعة أجزاء وقائمة المواد
| الجزء / المكون | الدرجة الموصى بها | المواصفات / السُمك | السطح | أنماط الفشل | المعايير المرجعية |
|---|---|---|---|---|---|
| خطوط أنابيب نقل غاز UHP | 316L VIM-VAR | مقاومة الشد: 0.010%، الكبريت (S): ≤0.05%، الأكسجين (O): ≤0.07%، الشوائب: ≤0.5 درجة ASTM E45 A/B/C/D، البنية المجهرية: سلسلة دقيقة | التلميع الميكانيكي Ra≤0.25μm → التلميع الإلكتروليتي Ra≤0.13μm؛ الفئة العالية Ra≤0.05μm | تلوث الجسيمات/الأيونات المعدنية هو نمط الفشل الرئيسي؛ التآكل بين الحبيبات/المنطقة الساخنة في اللحامات ثانوي ولكن لا يجب تجاهله | SEMI F20 الدرجة 5؛ SEMI F19؛ SEMI F57 |
| أجسام صمامات الغازات الخاصة / صمامات التخفيض / صمامات الحجاب الحاجز | 316L مطروقات VIM-VAR | S≤0.005% | التلميع الإلكتروليتي Ra≤0.2μm | خالٍ من الحديد الحر | SEMI F20 4.6.2؛ ASTM A182 |
| المسافة من المقعد إلى جدار الأنبوب >1D | 316L خطوط أنابيب المواد الكيميائية الإلكترونية CMP/الرطبة | بطانة EP/PFA/PTFE | Ra≤0.2μm | تآكل كاشط + أحماض قوية/مؤكسدات + احتجاز الجسيمات | SEMI F20؛ SEMI F57 |
| غرف التفريغ/الصمامات القلابة | 304L/316Lالدرجة | معدل التهوية المنخفض هو الأساس، وليس الكبريت أو الأكسجين | 2B/ تلميع كهربائي/غسل حمضي | تهوية غير كافية ← انخفاض التفريغ؛ تسرب أثناء اللحام | ASTM A240؛ ISO 3669 |
يتضمن الجدولالتكوين القياسي. يمكن استخدام 304 أو 316L أو 2205 للجزء نفسه حسب الوسط ودرجة الحرارة وطريقة اللحام — اشرح الظروف بشكل أفضل من تحديد الدرجات.
اعتبارات المواد
- الدرجات الأكثر شيوعًا في هذه الصناعة هي 316L (4)، 304L (1) —— تشير الأرقام بين الأقواس إلى عدد المناطق المتأثرة، وهو مفيد للتسعير وتحضير المواد.
- في الأوساط الحمضية، 316L مجرد نقطة بداية؛ مع زيادة التركيزات ودرجات الحرارة يُنظر في 904L / الدوبلكس (2/4 إصابات).
- نطاق السُمك: 0.005–0.01 mm —— الألواح الرقيقة تكون في الغالب أجزاء مشكّلة (يجب مراعاة ارتداد الانحناء وتشقق السحب العميق)، والألواح السميكة تكون في الغالب هياكل ملحومة (يجب مراعاة مدخلات الحرارة وحساسية التقسية).
المشكلات الشائعة
الفولاذ المقاوم للصدأ 316L فائق النقاء للصناعات الدقيقة: أي نوع من الفولاذ المقاوم للصدأ يُستخدم أكثر وفقًا لحدود الكبريت/الأكسجين/الشوائب/Ra في SEMI F20؟
بناءً على إجمالي الصفحات، فإن الدرجات الأعلى هي 316L (4) و304L (1). تحديد درجة محددة لجزء ما لا يزال يعتمد على الوسط ودرجة الحرارة؛ على سبيل المثال، أسطح العمل المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ التي تلامس المياه المالحة يجب تغييرها من 304 إلى 316L.
أي الأجزاء هي الأكثر عرضة للمشكلات؟
بناءً على أوصاف الأعطال، النمط الشائع هو "أنابيب نقل الغاز فائقة النقاء": تلوث الجسيمات/الأيونات المعدنية هو العطل الأساسي؛ التآكل بين الحبيبات/لحامات منطقة التأثر الحراري ثانوي ولكن لا يجب تجاهله؛ الدرجة الموصى بها 316L VIM-VAR، المواصفات S ≤0.005–0.010%؛ O≤7ppm؛ الشوائب وفقًا لـ ASTM E45 السلسلة الدقيقة A/B/C/D ≤0.5 درجة. لهذه الحالة، حدد تركيز الوسط ودرجة الحرارة وطريقة التنظيف خلال مرحلة التصميم.
ما السُمك الذي يجب أن أختاره؟
نطاق السُمك في القائمة هو 0.005–0.01 mm. بالنسبة للألواح الرقيقة، يجب مراعاة قابلية التشكيل وجودة السطح؛ وبالنسبة للألواح السميكة، يجب مراعاة قوة اللحام والسلامة الهيكلية. قد تختلف القيم حسب الشركة المصنعة للمعدات لنفس الجزء؛ راجع رسوماتك أو ظروفك.
المواد ذات الصلة والصناعات المجاورة
316Lالمادة والمواصفات304Lالمادة والمواصفاتمثبتات الفولاذ المقاوم للصدأ: A2-70/A4-70/A4-80/سلسلة D وأحدث المعاييرمثبتات الفولاذ المقاوم للصدأفلنجات الفولاذ الكربوني لتحلية مياه البحر: حدود الضغط ودرجة الحرارة والتآكل لـ 2205/2507فلنجات الدوبلكس وتحلية المياهصمامات الحجاب الحاجز الصحية/الصمامات النظيفة: ASME BPE وRa وحدود درجة الحرارةصمامات صحية